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合肥元晶科技材料有限公司

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GaN

氮化鎵(GaN)單晶片

物理參數
晶體結構六方晶系
晶格常數a=3.186?, c=5.186?
制備方法HVPE(氫化物氣相外延法)


常規產品參數
Item產品一產品二產品三產品四
類型/摻雜
N-type/undopedN-type/Si-dopedSemi-Insulating/Fe-dopedSemi-Insulating/C-doped
晶向
C-plane (0001) off angle toward M-axis 0.35° ± 0.15°
主定位邊
(10-10) ± 2.0° / 16 ± 1 mm
次定位邊(11-20) ± 3.0° / 8 ± 1 mm
尺寸

5 x 5 x 0.4 mm

10 x 10 x 0.4mm

dia50.8 x 0.4 mm

表面單面拋光 / 雙面拋光
電阻率
< 0.1 ohm-cm< 0.05 ohm-cm> 1 x 106 ohm-cm
> 1 x 108 ohm-cm
表面粗糙度
Ra: < 0.5 nm
有效面積> 90%

QQ截圖20240730210214.jpg